“6英寸時代，我們跟上了市場﹔8英寸時代，我們正領先全國，並達到世界先進水平。今年，公司投資擴產的重中之重將放在濟南項目上，進而大幅提升8英寸碳化硅襯底產能，快速推進產品升級迭代速度。”日前，廣州南砂晶圓半導體技術有限公司（下稱“南砂晶圓”）董事長王垚浩信心滿滿地表示。

王垚浩口中的“濟南項目”，正是去年於濟南市歷城區注冊成立的山東中晶芯源半導體科技有限公司（下稱“中晶芯源”）。作為深耕碳化硅襯底及相關產品研發、生產和銷售業務的國家級專精特新“小巨人”企業，南砂晶圓計劃將中晶芯源打造成為全國最大的8英寸碳化硅襯底生產基地，投資額15億元，於2025年實現滿產達產。

一子落而全盤活。第三代半導體產業細分龍頭企業南砂晶圓的核心生產基地花落山東，是魯信集團直管企業魯信創投堅定扛牢地方國有創投機構使命擔當，充分發揮優質科創企業資源及信息優勢，積極為山東省高質量招商引資搭建“橋梁”的又一例証。

龍年春節后首個工作日召開的山東省高水平開放暨高質量招商引資大會，向全省發出了深化大開放、拓展大招商的動員令。魯信集團黨委書記、董事長陳秀興講到：“多年來，魯信集團發揮旗下魯信創投等直管企業優勢，持續縱深布局‘硬’科技領域，挖掘賦能‘高’科技項目，著力搭建擁有關鍵核心技術、創新能力突出的優質企業‘朋友圈’。下一步，我們將更加積極主動地聚創新之勢、匯合作之力，充分挖掘第一手的資源和信息，助力山東通過高質量招商引資引進新變量、培育新動能、塑成新優勢，積蓄高質量發展新勢能。”

4英寸起步、6英寸追趕、8英寸領先

——“國外行業龍頭企業的30多年，我們僅用5年就趕上了”

隨著新能源汽車產業的迅猛發展、國家“雙碳”目標的明確提出，以碳化硅、氮化鎵等材料為代表的第三代半導體已成為全球半導體產業新的戰略競爭高地。其中，作為技術應用最為成熟的襯底材料，碳化硅襯底更是在市場上“一片難求”，堪稱新興材料“寵兒”。

眾所周知，因具備禁帶寬度大、熱導率高、臨界擊穿場強高、電子飽和漂移速率高等特點，碳化硅襯底可有效突破傳統硅基半導體器件及其材料的物理極限，開發出更加滿足高壓、高溫、高功率、高頻等要求的新一代半導體器件，目前已在5G通信、軌道交通、新能源汽車及充電樁、新能源、儲能、大數據中心、工控等領域展開廣泛應用場景。

“碳化硅功率器件在新能源汽車中的滲透率正在快速提升，目前主要應用於主驅逆變器、車載充電單元（OBC）、DC/DC車載電源轉換器和大功率DC/DC充電器等領域，可在大功率、大電流等條件下有效降低損耗、提高效率並縮小器件尺寸與重量，進而顯著提升消費者對新能源汽車最為關注的續航能力與充電效率，並降低整車成本。”王垚浩介紹道，例如主驅逆變器搭載碳化硅基MOSFET之后，基於系統效率的整體提升，可節電5%至10%，僅此一項成本節省空間便超過5000元。“正因於此，截至今年年初，配備碳化硅功率器件的新能源車型相較去年同期，已增長了數倍。”

然而，一邊是爆發式攀升的市場需求及百億級空間，一邊卻是碳化硅襯底制備領域高企的技術與工藝壁壘——既硬且脆的材料特性，考驗重重的切割、研磨、拋光等加工環節，因尺寸變大呈幾何倍數增加的生長、工藝難度，需重點解決的應力開裂、翹曲度過大等問題……

“這一產業在國外已經發展了30多年，半導體作為信息產業的基石，一直是‘兵家必爭’的焦點。”在王垚浩看來，用最短的時間突破技術關鍵“瓶頸”，解決“卡脖子”問題，追趕上世界碳化硅襯底制備技術水平，正是我國第三代半導體從業者的責任與使命、挑戰與機遇。

2018年，秉持“聚沙成晶、科技報國”的願景，依托山東大學晶體材料國家重點實驗室徐現剛教授團隊的技術成果，南砂晶圓於廣州市南沙區注冊成立。

“在技術團隊逾10年的研發積累下，我們很快突破了碳化硅單晶生長及襯底制備技術，為其國產商業化奠定了良好基礎。但這一行業除頗高的技術門檻外，還具備資金投入大、資本密集的特性，僅一台加工或檢測設備便高達千萬元。隻有加強資本運作，切實推進‘四鏈融合’，才有望實現橫向、縱向擴展，進一步夯實並提高市場份額。”王垚浩表示。

2021年，為搶抓第三代半導體產業發展戰略機遇，在半導體尤其是碳化硅行業計劃進行深度挖掘並較早布局的魯信創投，憑借對科創型項目的專業辨別能力與賽道把握能力，在嚴格審計及評估的基礎上，敏銳發掘出南砂晶圓這一創新能力突出、成長空間可觀的優質項目。當年5月，魯信創投成為南砂晶圓A輪融資領投方，投資逾億元，自此開啟了雙方攜手奮進的序幕。

在“真金白銀”的有力加持，以及魯信創投覆蓋核心耗材、襯底生產、芯片設計、晶圓制造、模塊封裝等全產業鏈的投資布局賦能下，南砂晶圓技術成果加速迭代，長晶與生產加工環節良率持續提升——2021年啟動導電型襯底研發，2022年領先行業研發出8英寸襯底並完成主要下游客戶驗証，2023年導電型襯底對部分客戶進入批量供貨階段……

“從6英寸到8英寸，襯底面積擴大了近1.8倍，但難度系數是呈幾何倍數提升的。這個過程中，魯信創投給予了我們極大的支持與信任，確保公司能夠心無旁騖地在提升長晶良率、綜合良率方面持續加大研發力度，著力提高加工工藝水平，並搭建起國內第一條完整的全自動激光切割流程設備線，實現了從零到一的突破。”王垚浩表示。

正是得益於對第三代半導體產業的深刻理解，以及在前瞻性技術研發布局上的不遺余力，南砂晶圓從4英寸起步、6英寸追趕到如今的8英寸領先，蹄疾而步穩，勇毅而篤行。

“通過多措並舉，各環節協同發力，目前公司8英寸襯底產品各項技術參數已經位列國內第一梯隊，並達到世界先進水平。在這一領域，國外行業龍頭企業發展了30多年，我們僅用5年就趕上了。”王垚浩欣慰且驕傲地說道。

找准產業契合點、捕捉企業關注點

——選擇山東、落地山東、攜手山東

而如何在最短時間內實現產能攀升，滿足持續旺盛的市場需求，打破“一片難求”的供給現狀，確保高質穩定的供應能力，進而為推動我國新一代信息技術產業高質量發展、培育壯大現代產業體系提供有力支撐，成為南砂晶圓第二個“五年規劃”中的重中之重。

在王垚浩看來，隨著技術工藝的日益成熟、制備難度及成本的逐步下降以及產業鏈上下游的協同完善，碳化硅襯底價格下降趨勢已然明朗，且較為可觀。“對於行業發展而言是好事，必將進一步拓展應用場景。可以預見，未來隻要涉及電力電子器件領域，在居民生活、工業生產的方方面面都會出現碳化硅的身影，空調、電冰箱……將更加節能省電、長久耐用。而這也對當下本就供不應求的襯底產能，提出了更高要求。”

基於此預期，在成立5周年之際，南砂晶圓對下一個5年的任務目標進行了調整明確。

“創業的前5年，我們的重點任務是通過持續研發創新，實現關鍵技術突破，搭建起自主、核心技術體系。如今進入第二個5年，公司將著力在規模化生產上下功夫，迅速提升產能，確保穩定供應，力爭在未來5年內邁入這一行業的世界前列。”王垚浩擲地有聲。

而這一擴產計劃，讓同時身為南砂晶圓重要投資人以及山東地方國有創投機構的魯信創投，嗅到了機遇，找到了契合點。

“南砂晶圓擴產計劃的醞釀、討論、調研以及最后敲定，我們在投后服務中均全程參與，第一時間掌握了准確消息。經過多年發展，山東省第三代半導體產業已形成一定的產業基礎，潛力可觀。為助力山東搶抓產業發展戰略機遇，我們認為引入南砂晶圓這一行業龍頭企業，將進一步優化第三代半導體產業發展布局，提升產業整體競爭力，進而帶動全省電子信息產業的融合發展。”魯信創投副總經理葛效宏說道。

為此，魯信創投積極靠上、精准對接、聚焦發力、靶向出擊，在找准產業契合點、捕捉企業關注點的基礎上，協調山東各方資源以先發深厚的研發積澱、高端多層次的人才支撐、真材實料的產業空間、真金白銀的惠企政策、長期向好的營商環境……吸引南砂晶圓最終選擇山東、落地山東、攜手山東。

“8英寸襯底具備更大的芯片利用面積及成本優勢，我們計劃在濟南項目全部建設8英寸襯底產能，逐步將其打造為公司主力產品，進而在以6英寸襯底為主的市場供給結構中實現異軍突起、彎道超車。”王垚浩說。

值得注意的是，在魯信創投積極對接關鍵材料提供方及上下游供應商的助力下，南砂晶圓濟南項目中高達99%的原材料、95%的主要生產設備將實現國產化，達到行業領先水平。“作為碳化硅襯底行業龍頭企業，南砂晶圓在大力提升國產化率方面發揮的領軍帶頭作用，也將有力促進山東補齊產業鏈缺失環節，促進產業鏈上下游、大中小企業緊密配套、融通發展，打造空間集聚、功能關聯的第三代半導體產業集群。”葛效宏表示。

先期投資布局、一手資源信息、創新招引途徑

——“將對接更多龍頭企業、重點工業企業來魯投資”

高質量招商引資的“高”，體現在招引的視野理念、機制手段、產業層次和項目質量上——而這，同樣是魯信創投縱深布局“硬科技”項目、“長周期”扶持創新型科技企業、“全流程”賦能實體產業的關鍵詞。

為主動在“雙循環”格局中找准定位，勇於在“全方位”開放中擁抱未來，善於在“新競合”態勢中把握機遇，魯信創投緊跟國家戰略，持續聚焦新一代信息技術、高端裝備制造、醫療大健康、新能源、新材料、半導體、航空航天等戰略性新興產業，助力山東集中力量攻堅突破，通過引進標志性牽引性大項目，大力提升創新驅動力，優化調整生產力布局，延鏈補鏈強鏈、做大做精做強，助力培育一批具有全國乃至全球影響力的產業鏈。

除迅速響應《山東省第三代半導體產業發展“十四五”規劃》，在半導體尤其是碳化硅行業持續進行深度挖掘並較早布局，投資覆蓋核心耗材、襯底生產、芯片設計、晶圓制造、模塊封裝等全產業鏈，並成功引入南砂晶圓、艾恩半導體落地山東以外，魯信創投還積極助力山東在航天航空方面勇當創新標杆，已先期投資藍箭航天、微焓科技、鴻俠科技等行業龍頭企業，並持續助推其與山東企業加強合作，力爭盡快落地山東。

“目前，公司90%以上的資金投資在‘硬科技’領域，已成功投資培育了一批新材料、高端制造等領域的行業龍頭企業。作為山東省重要投融資主體和資產管理平台——魯信集團旗下從事創業投資業務的核心板塊，我們將圍繞山東產業發展現有基礎及戰略布局，借助一手資源及信息，通過精准招商、產業鏈招商、以商招商、資本招商等創新途徑，積極對接更多龍頭企業、重點工業企業來山東投資，在‘進’上尋求突破，在‘立’上厚植優勢。”魯信創投黨委書記、董事長王旭冬表示。（韓祖亦）

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